電子薄膜應力分布測試儀

該產(chǎn)品主要應用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率

電子薄膜應力分布測試儀半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出全場面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗和微電子生產(chǎn)工藝研究。

儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品。

產(chǎn)品名稱：純彎曲梁試驗裝置 產(chǎn)品型號：XL3416

純彎曲梁試驗裝置型號：XL3416

純彎曲梁試驗裝置技術(shù)參數(shù)
一、特點： 
1、移動方便、數(shù)字顯示、結(jié)構(gòu)簡潔、加載方便、測量準確 
2、采用蝸桿機構(gòu)以螺旋千斤進行加載，操作省力，加載穩(wěn)定， 
3、剎車腳輪方便移動和固定 
二、組成：  
純彎曲梁實驗裝置由實驗臺+拉壓力傳感器+標準試件（應變片貼好）組成  
三、實驗用途： 
1、純彎曲梁橫截面上正應力的分布規(guī)律實驗 
2、材料彈性模量E，泊松比µ的測定（選配） 
3、偏心拉伸實驗（選配） 
4、壓桿穩(wěn)定實驗（選配） 
四、技術(shù)參數(shù)： 
1、 載荷范圍：5000N； 
2、 加載機構(gòu)作用行程：50mm； 
3、 手輪加載轉(zhuǎn)矩：0～2.6N.m； 
4、 加載速度：0.12mm/轉(zhuǎn)； 
5、 載荷靈敏度：1N； 
6、 過載能力：150%； 
7、 外形尺寸：750×450×1000； 
8、 重量：45kg。