四探針電阻率分析儀

產(chǎn)品編號(hào)：TC-000289

QT-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
 四探針電阻率分析儀   儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
QT-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對(duì)測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：
 測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）； 
 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm； 
 電阻：0.001～200Ω.cm； 

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺(tái)）；
 200mmX200mm（配S-2B型測試臺(tái)）；
 400mmX500mm（配S-2C型測試臺(tái)）；
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
 針間緣電阻：≥1000MΩ； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對(duì)誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對(duì)誤差（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射；

產(chǎn)品名稱：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 產(chǎn)品型號(hào)： TD3618C

 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 型號(hào)： TD3618C

TD3618C/TD3616C矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀由新技術(shù)的高精度合成信號(hào)源、窄帶接收機(jī)、高速嵌入式計(jì)算機(jī)和Windows操作系統(tǒng)組成.它具有測量精度高、測量速度快和測量適應(yīng)能力強(qiáng)等特點(diǎn)，Windows操作界面更具人性化,可適用于射頻元件及設(shè)備的大批量生產(chǎn)和制造領(lǐng)域的測量應(yīng)用，具有高的性價(jià)比。 
TD3618C/TD3616C矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀具有強(qiáng)大的測量功能,主要應(yīng)用于無線通信、廣播電視、教育、科研等領(lǐng)域, 可對(duì)放大器、同軸電纜、功分器、合路器、天線、耦合器、濾波器、隔離器、分支分配器、晶體、聲表等RF器件S參數(shù)的幅頻特性、反射特性、相位特牲、延遲特性等進(jìn)行*測量. 例如能對(duì)RF器件的插入損耗、衰減、隔離、增益、頻響、帶內(nèi)平坦度、相位、群延時(shí)、回波損耗、SWR、特性阻抗、3dB帶寬、帶外抑制、阻帶帶寬、矩形系數(shù)等指標(biāo)進(jìn)行快速準(zhǔn)確測量。 

★ 系統(tǒng)阻抗：50Ω或75Ω，75Ω阻抗適合CATV用戶使用。 
★ 儀器使用界面：中文或英文，滿足不同用戶需求。 
★ 雙端口測試?？赏瑫r(shí)測試兩端口器件的4個(gè)S參數(shù)（S11、S21、S12、S22 ），大提高測試效率。  
★ Windows操作界面，10.4英寸的TFT彩色液晶顯示屏，觸摸屏，顯示清晰，操作簡單快捷。 
★ 4個(gè)獨(dú)立的測量通道，每個(gè)通道可獨(dú)立設(shè)置源參數(shù)（如頻率、功率等），滿足用戶對(duì)同一器件的不同條件下的測試。 
★ 具有存貯/調(diào)用功能，方便用戶將測量結(jié)果保存在硬盤或U盤上。 
★ 可以用宏指令進(jìn)行VBA編程，進(jìn)行自動(dòng)控制測試。 
★ GPIB接口，方便用戶組成自動(dòng)測試系統(tǒng)。 
★ LAN接口，方便用戶連接局域網(wǎng)，無線網(wǎng)卡，從而方便用戶進(jìn)行遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸。 
LAN接口還和GPIB接口一樣，方便用戶組成自動(dòng)測試系統(tǒng)。 
★ 數(shù)據(jù)格式：對(duì)數(shù)、相位、群延遲、史密斯圓圖、坐標(biāo)、線性、SWR、實(shí)部、虛部、擴(kuò)展相位、正相位等。 
★ 多種掃描模式：線性掃描、對(duì)數(shù)掃描、分段掃描、功率掃描。 
★ 觸發(fā)方式：連續(xù)、單次、保持。 
★ 強(qiáng)大的分析功能 
◆限測試：具有限測試、波動(dòng)限測試、帶寬限測試等測試功能，方便用戶進(jìn)行產(chǎn)品合格、不合格判斷，從而大大提高測試效率。 
◆頻標(biāo)：多可同時(shí)顯示9個(gè)頻標(biāo)。不同曲線上的頻標(biāo)可獨(dú)立操作。 
◆頻標(biāo)搜索功能：大值、小值、峰值、頻標(biāo)自動(dòng)跟蹤、帶寬搜索、凹峰搜索等。 
★ *的校準(zhǔn)方式 
增強(qiáng)型響應(yīng)校準(zhǔn)：可以消除方向性、串?dāng)_、源匹配、反射跟蹤、傳輸跟蹤誤差，提高測量精度。 
端口擴(kuò)展：在某些場合下，用戶不能在測試端面進(jìn)行校準(zhǔn)，端口擴(kuò)展就可以滿足用戶補(bǔ)償測試端面與被測件之間的相移或延遲，提高測試精度。 
★ 眾多外部接口 
具有USB、LAN、RS232、鍵盤PS/2接口、鼠標(biāo)PS/2接口、外部VGA顯示接口、GPIB接口（選件）。 

頻率范圍：300kHz ～ 3GHz(TD3618C); 300kHz ～ 1.5GHz(TD3616C) 
頻率準(zhǔn)確度：±5ppm (23℃±5℃) 
頻率分辨率：1Hz 
輸出電平：-45 ～ +10dBm 
電平準(zhǔn)確度：±0.8 (0dBm,50MHz) 
電平分辨率：0.05dB 
相位噪聲：-67dBc/Hz@10kHz 
諧波及非諧波：<-30dBc(0dBm) 
中頻帶寬10Hz～30kHz 
方向性：44dB 
動(dòng)態(tài)范圍：110dB 
測量分辨率：0.01dB 
大輸入電平：+10dBm 
輸入損壞電平：+20dBm 
相位分辨率：0.01° 
相位穩(wěn)定度：0.1° 
對(duì)數(shù)刻度：0.01dB/DIV~50dB/DIV 
分辨率：0.01dB 
掃描時(shí)間：25ms(201點(diǎn),中頻帶寬30KHz) 
顯示器：10.4英寸彩色TFT液晶顯示屏 
測量方式：雙端口測量 
測量通道：4通道 
測量格式：對(duì)數(shù)、線性、相位、群延時(shí)、駐波比、史密斯圓圖、圓圖、實(shí)部、虛部、阻抗 
掃描方式：線性、點(diǎn)頻、對(duì)數(shù)、功率 
觸發(fā)方式：連續(xù)、單次、保持 
輸入輸出接頭N型陰頭 
通訊接口USB,LAN, RS232,GPIB,鍵盤接口,VGA顯示接口 
電源AC 150V～230V/50～60Hz; 350VA 
重量約15Kg 
儀器尺寸426×395×225mm(寬X深X高) 
工作環(huán)境溫度5～40℃