方塊電阻分析儀 電阻率四探針測試儀

一、 結(jié)構(gòu)特征
 
二、概述
TCWSP-51型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。也可測柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻（簡稱方阻），換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。
本測試儀可贈設(shè)電池供電，適合手持式變動場合操作！
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用一旋鈕輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
方塊電阻分析儀 電阻率四探針測試儀三、基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率
電    阻：     1.0×10-2 ～ 2000 Ω,    分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×10  Ω
電 阻 率：     1.0×10-3～ 2000 Ω-cm  分辨率0.1×10-2 ～ 0.1  Ω-cm
方塊電阻：     1.0×10-3 ～ 2000Ω/□  分辨率1.0×10-1 ～ 0.1×10  Ω/□ 
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸（手持式）
直        徑：  測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長（或高）度：  測試臺直接測試方式 H≤160mm,    其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級
量程2.000200.020.002.000200.0
kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□
基本誤差±1%FSB±2LSB±1.5%FSB
±4LSB

4） 適配器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電
5） 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈   重：≤0.5kg

 雙電測四探針測試儀  型號：KDB-3

 KDB-3雙組合測試儀是根據(jù)標(biāo)準SEMI MF1529設(shè)計，雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導(dǎo)體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中，在測試樣品的每個測量位置上，以兩種不同的方式（配置）將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比，用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量，從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。  
儀器特點如下：  
1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。  
數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV  靈敏度：10μV  輸入阻抗：1000ΜΩ  
                        基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)  
2、可測電阻率范圍：10—4 —1.9×104Ω·cm。  
     可測方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。  
3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值；同樣，當(dāng)四探針頭1、3探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、3探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、4探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。  
4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。  
電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。  
5、儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。  
6、可選配軟件進行數(shù)據(jù)采集,可進行雙組合或單組合測量，實現(xiàn)自動切換電壓檔位、讀取相應(yīng)電壓值，根據(jù)不同方法計算電阻率或方塊電阻值；軟件可對測量數(shù)據(jù)進行分析，如平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內(nèi)容。  
7、可配KDDJ-3電動測試架，自動上下運行，使測量更方便快捷。  
8、四探針頭采用上良好的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復(fù)性提高

雙電測數(shù)字式四探針測試儀型號： ST2263

概述 
     ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。  
      ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀成套組成：由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
      ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，USB通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入；具有零位、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成，也可脫PC機由四探針儀器面板上獨立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示，也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打?。?nbsp;
北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
     探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。 
     測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
          詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》點擊進入 
      ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。 
     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。 
三、基本技術(shù)參數(shù) 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
3.1  測量范圍 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
    電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm 
    方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□ 
    電  阻：1×10-5～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 
3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定) 
    直    徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限 
    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限. 
    長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限. 
    測量方位: 軸向、徑向均可 
3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表： 
    (1)量程： 20.00mV～2000mV 
    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字 
3.4  數(shù)控恒流源 
   (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A 
   (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字 
3.5  四探針探頭（選配其一或加配全部） 
   (1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào) 
   (2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào) 
3.6 電源 北京同德創(chuàng)業(yè)  專業(yè)鑄造品質(zhì)
   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗：<20W 
3.7 外形尺寸： 
   主機  220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）

方塊電阻 電阻率四探針測試儀

產(chǎn)品名稱：溶解氧分析儀 便攜式溶解氧檢測儀  產(chǎn)品型號：JPB-607

溶解氧分析儀 便攜式溶解氧檢測儀 型號：JPB-607  
儀器特點： 
帶有自動溫度補償 
3 1/2位 液晶顯示 
響應(yīng)時間快 
技術(shù)指標(biāo)： 
1、 測量范圍：溶解氧0-20mg/L,溫度0-40℃ 
2、 精確度：溶解氧±0.3 mg/L（校準溫度與測量溫度相同） 
                  ±0.5 mg/L（校準溫度與測量溫度相差±10℃時） 
            溫度：±1℃ 
3、 殘余電流：溶解氧不大于0.15 mg/L（±1個字） 
4、 響應(yīng)時間：不大于30秒（20℃時90%響應(yīng)） 
5、 儀器的穩(wěn)定性：±0.2 mg/L±1個字/1h 
6、 自動溫度補償范圍：0-40℃（自動） 
7、 重量：0.3KG 
8、 外形尺寸：165*72*35mm 
9、 使用條件：  環(huán)境溫度  0-40℃    相對濕度  不大于90%  
  被測樣品溫度  0-40℃    供電電源  9F22型9伏電池一節(jié)